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    技術文章

    適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機

    適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機SC-708系列


    特征

    • 大型基板全鍍膜的離子濺射設備

    • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。

    • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時支持 PDMS 表面處理

    • 配備鍍膜模式/蝕刻模式



    應用/結果示例

    • 適用于各種設備的電極膜附件

    • 反光膜制作應用

    • 樣品表面親水化處理應用(蝕刻方式)

    • PDMS表面處理應用(蝕刻模式)等



    基本規(guī)格

    陰極φ4-8英寸/2極對向電極
    濺射電流
    蝕刻電流
    0-50mA(包括電流表)
    濺射電壓
    蝕刻電壓
    0.8 / 1.4kV
    氣體引入機制針閥
    真空泵直聯(lián)回轉泵:100l/min(帶自動漏氣)
    腔室尺寸內徑φ240mm x D240mm(SUS制)
    樣品交換方式前門開閉式
    樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
    尺寸(寬/深/高)主體:282/450 / 440mm
    RP:460/175 / 265mm
    重量身體:約20kg
    RP:23kg





    特殊規(guī)格示例

    SC-704AT
    SC-704AT
    膜厚可控全自動機型

    SC-704MC
    SC-704MC
    磁控陰極采用型號
    (無蝕刻/交流濺射功能)



    聯(lián)系人:林經理
    地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
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