用于半導體制造過程的多組分密度計介紹

多組分密度計的特點

3 個組件中的 2 個組件密度計側可以實時進行

• 配備模擬DC 4至20mA（2系統）和數字RS232C作為標準設備

• 標配測量誤差輸出和報警輸出

• 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

• 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

• 由于使用 PFA 的接液部件的質量和小輸出設計，對化學溶液沒有影響。

優點

• 可進行高精度連續測量

• 免維護，無需定期調整和校準

• 安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整

• 通過實時輸出輕松反饋過程

用

• CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制等。

• 清洗過程中清洗液濃度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

• 蝕刻工藝中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）