大型設備干涉儀用真空無油型離子泵

一、引言

二、選型前的準備工作

1. 明確應用需求
• 真空度要求：干涉儀通常需要超高真空環境，極限真空度應達到<1×10?11 mbar。
• 抽速需求：根據干涉儀的腔體體積和抽氣時間要求，計算所需的抽速。例如，對于大型干涉儀，可能需要500 L/s或更高的抽速。
• 氣體成分：了解被抽氣體的成分，特別是是否存在惰性氣體、氫氣等。不同氣體成分可能需要選擇不同類型的離子泵元件。
• 運行環境：考慮安裝位置的空間限制、電源條件以及是否需要遠程監控等功能。
2. 確定技術參數
• 極限真空度：選擇極限真空度高于實際需求一個數量級的泵。
• 抽速：根據公式 S=tV×ln(P1/P2) 計算所需抽速。
• 泵的尺寸和重量：確保泵的尺寸和重量符合安裝空間的要求。
• 功耗和冷卻方式：選擇適合的冷卻方式（如風冷或水冷），并考慮功耗對運行成本的影響。

三、離子泵的類型選擇

1. 二極離子泵元件：適用于通用的超高真空（UHV）和真空（XHV）應用，對氫氣抽速至關重要。
2. 三極離子泵元件：對惰性氣體（如氬氣、氦氣）和氫氣具有更高的抽速和容量。
3. 改進型二極離子泵元件：適用于需要抽除殘留惰性氣體的通用UHV和XHV應用。

四、選型注意事項

1. 無油設計的重要性：無油型離子泵可避免油蒸氣污染，確保干涉儀內部的潔凈度。
2. 低漏電流和低磁場干擾：選擇漏電流低、磁場干擾小的離子泵，以減少對干涉儀測量精度的影響。
3. 維護和可靠性：選擇維護周期長、可靠性高的離子泵，以降低長期運行成本。
4. 定制選項：根據特殊需求，選擇支持定制的離子泵，例如特殊接口、遠程監控功能等。

五、品牌與供應商選擇

1. 品牌信譽：選擇如安捷倫、普發真空等，這些品牌在真空技術領域具有豐富的經驗和良好的口碑。
2. 技術支持與售后服務：確保供應商能夠提供技術支持、備件供應和及時的售后服務。

六、安裝與維護建議

1. 安裝注意事項
• 基礎需平整穩固，預留維修空間。
• 進氣管道應盡量短直，管徑不小于泵口尺寸。
• 排氣端建議。
2. 日常維護要點
• 定期檢查運行電流和溫度。
• 清潔或更換進氣過濾器。
• 定期校準真空儀表。

七、總結