超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)
超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)
全自動(dòng)輕松制作電子顯微鏡用樣品
通過(guò)預(yù)置方式,可以實(shí)現(xiàn)膜厚控制(簡(jiǎn)易型)。
前処理裝置だからこその簡(jiǎn)単操作/高い再現(xiàn)性
全自動(dòng)輕松制作電子顯微鏡用樣品
通過(guò)預(yù)置方式,可以實(shí)現(xiàn)膜厚控制(簡(jiǎn)易型)。
前処理裝置だからこその簡(jiǎn)単操作/高い再現(xiàn)性
陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min(自動(dòng)リーク付) |
排気操作 | 自動(dòng) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min(自動(dòng)リーク付) |
排気操作 | 自動(dòng) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min(自動(dòng)リーク付) |
排気操作 | 自動(dòng) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min(自動(dòng)リーク付) |
排気操作 | 自動(dòng) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
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