產品資料
空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵
產品名稱: 空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵
產品型號: FT6-36P
產品特點: 空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵FT6-36P · LED 生產工藝專用六段 Root + 油旋片復合 · 空冷 · 無冷卻水250 m³/h · 極限 6.7×10?² Pa · 重量 230 kg · 可并排一、產品定位LED 生產工藝：MOCVD 前級（GaN 外延）濺射 & 離子鍍高亮度芯片干刻空冷六段根式：無冷卻水，并排安裝，產線無需水改六段 Root + 油旋片
空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵 的詳細介紹
空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵
空冷式六段根式工藝生產用油旋轉真空泵
FT6-36P · LED 生產工藝專用
六段 Root + 油旋片復合 · 空冷 · 無冷卻水
250 m3/h · 極限 6.7×10?2 Pa · 重量 230 kg · 可并排
一、產品定位
- LED 生產工藝：
- MOCVD 前級（GaN 外延）
- 濺射 & 離子鍍
- 高亮度芯片干刻
- 空冷六段根式：無冷卻水，并排安裝，產線無需水改
- 六段 Root + 油旋片：復合抽氣，高抽速 + 低極限，適合大腔體快速抽真空
二、核心技術參數（FT6-36P）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 六段 Root + 油旋片復合（空冷） |
| 抽速 | 250 m3/h (50 Hz) / 300 m3/h (60 Hz) |
| 極限真空 | 6.7×10?2 Pa（0.5 mTorr） |
| 最大允許壓力 | 0.1 MPa（abs） |
| Root 級 | 6 段行星轉子，硬陽極氧化 |
| 油旋片級 | 雙級油封，強制油循環 |
| 冷卻方式 | 空冷（強制風扇） |
| 進氣口 | DN63 ISO-K（可轉 NW40） |
| 排氣口 | DN25 ISO-K |
| 電源 | 3φ 200 V 50/60 Hz，5.5 kW |
| 尺寸/重量 | 950×450×580 mm，230 kg |
| 噪聲 | ≤ 65 dB(A) @ 50 Hz（1 m） |
| 壽命 | 30,000 h（連續運行） |
三、功能亮點
- 六段 Root 高抽速：250 m3/h，比同級雙段泵高 50 %，MOCVD 腔體 3 min 抽到 10 Pa
- 空冷無水管：并排安裝，產線無需冷卻水改造
- 6.7×10?2 Pa 極限：滿足 MOCVD、濺射、離子鍍工藝背壓要求
- 硬陽極 Root 轉子：耐 GaN 粉塵、耐金屬飛濺，壽命 30,000 h
- 強制油循環：高負荷連續運行，油溫 <70 ℃
- 65 dB 靜音：比水冷泵低 10 dB，潔凈室旁運行不擾人
四、典型應用系統
MOCVD 反應室 300 mm┌─ 反應室 ─┐│ │進口← FT6-36P ← 粉塵過濾器（可選）│ │└─ 回大氣 ──┘- 泵進口接反應室，3 min 抽到 10 Pa，滿足 GaN 外延工藝
- 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命
五、實測數據（MOCVD 驗證）
- 反應室 300 mm，室溫 25 ℃
- FT6-36P 50 Hz 運行：
- 1 min 達到 100 Pa
- 3 min 達到 10 Pa
- 極限 6.7×10?2 Pa
- 連續 24 h 油溫 <65 ℃，無冷卻水
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| FT6-36P-200 | 200 V 50 Hz 標準型 |
| FT6-36P-460 | 460 V 60 Hz 出口型 |
| FT6-36P-DN63 | DN63 ISO-K 進氣法蘭 |
| FT6-36P-OIL | VG-68 高真空油 5 L |
七、維護與可靠性
- 油更換：每 3,000 h 或 1 年
- Root 轉子：硬陽極氧化，壽命 30,000 h，免維護
- 粉塵過濾器：每月清理一次
- 整機 2 年質保，10 年配件保障
八、結論
ANLET FT6-36P 以「六段 Root 高抽速 + 空冷無水管 + 6.7×10?2 Pa 極限 + 硬陽極轉子」四合一設計，讓 LED 生產工藝（MOCVD、濺射、離子鍍）獲得「高抽速、無冷卻水、耐粉塵」真空源，是 LED 產線空冷式根式真空泵的「高抽速標準機」
相關產品
產品目錄
聯系我們
在線客服